CIQTEK, 첨단 전자현미경용 4D-STEM 솔루션 공개

가 + 집속 이온 빔 전계 방출 주사 전자 현미경 그만큼 CIQTEK DB550 집속 이온 빔 주사 전자 현미경(FIB-SEM) 나노 분석 및 시료 준비를 위한 집속 이온 빔 컬럼을 갖추고 있습니다. "슈퍼 터널" 전자 광학 기술, 낮은 수차, 비자성 대물렌즈 설계를 활용하며, "저전압, 고해상도" 기능을 통해 나노스케일 분석 성능을 보장합니다. 이온 컬럼은 Ga를 용이하게 합니다. + 나노 제작 성능을 보장하기 위해 매우 안정적이고 고품질의 이온 빔을 사용하는 액체 금속 이온 소스를 사용합니다. DB550은 나노 조작기, 가스 주입 시스템, 사용자 친화적인 GUI 소프트웨어가 통합된 올인원 나노 분석 및 제작 워크스테이션입니다.

초고해상도 텅스텐 필라멘트 주사 전자 현미경 그만큼 시크텍 SEM3300 주사전자현미경(SEM) "슈퍼 터널" 전자 광학, 인렌즈 전자 검출기, 정전식 및 전자기식 복합 대물렌즈와 같은 기술을 통합합니다. 이러한 기술을 텅스텐 필라멘트 현미경에 적용함으로써 기존 주사전자현미경(SEM)의 오랜 분해능 한계를 뛰어넘어, 이전에는 필드 방출 주사전자현미경(FSEM)으로만 가능했던 저전압 분석 작업을 수행할 수 있게 되었습니다.

초고분해능 전계방출 주사전자현미경(FESEM) 그만큼 CIQTEK SEM5000X 최적화된 전자 광학 컬럼 설계를 통해 전체 수차를 30%까지 줄인 초고분해능 FESEM으로, 15kV에서 0.6nm, 1kV에서 1.0nm의 초고분해능을 구현합니다. 높은 분해능과 안정성 덕분에 첨단 나노 구조 재료 연구뿐만 아니라 첨단 노드 반도체 IC 칩의 개발 및 제조에도 유리합니다.