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field emission scanning electron microscope fe sem

페셈 | SEM4000Pro

고휘도 장수명 쇼트키 전계방출형 전자총을 장착한 분석용 전계방출형 주사전자현미경(FESEM)

최대 200nA의 빔 전류를 위한 3단계 콘덴서 전자 광학 컬럼 설계를 갖춘 SEM4000Pro는 EDS, EBSD, WDS 및 기타 분석 응용 분야에서 이점을 제공합니다. 이 시스템은 저진공 모드는 물론 고성능 저진공 2차 전자 검출기 및 접이식 후방 산란 전자 검출기를 지원하여 전도성이 낮거나 비전도성인 시료를 직접 관찰하는 데 도움이 됩니다.

표준 광학 탐색 모드와 직관적인 사용자 조작 인터페이스로 분석 작업이 쉬워집니다.

• 고휘도, 장수명 쇼트키 전계방출형 전자총 장착

30kV에서 0.9nm의 고해상도

3단계 콘덴서 렌즈 설계, 최대 빔 전류 최대 200nA의 넓은 빔 전류 조정 범위

표준 저진공 모드, 고성능 저진공 2차 전자 검출기 및 접이식 후방 산란 전자 검출기

비침수 자기장이 없는 대물렌즈 설계로 자기 시료를 직접 관찰할 수 있습니다

표준 광학 네비게이션 모드

주요 매개변수 해상도 고진공

0.9nm @ 30kV, SE

저진공

2.5nm @ 30kV, BSE, 30Pa

1.5nm @ 30kV, SE, 30Pa

가속전압 0.2~30kV
배율 1 ~ 1,000,000 x
전자총형 고휘도 쇼트키 전계 방출 전자총
시료실 진공시스템 완전자동제어
저진공(옵션) 최대 180Pa
카메라 듀얼 카메라(광학 네비게이션 + 챔버 모니터링)
거리

X: 110mm

Y: 110mm

Z: 65mm

T: -10°~ +70°

R: 360°

탐지기 및 확장 표준

Everhart-Thornley 검출기(ETD)

저진공 검출기(LVD)

후방산란전자검출기(BSED)

선택

STEM 검출기

에너지 분산형 분광계(EDS)

전자 후방산란 회절 패턴(EBSD)

시편 교환 로드락

트랙볼 및 노브 제어판

소프트웨어 언어 영어
OS 윈도우
내비게이션 Nav-Cam, 제스처 퀵 네비게이션
자동 기능 자동 밝기 및 대비, 자동 초점, 자동 스티그마터

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