고휘도 장수명 쇼트키 전계방출형 전자총을 장착한 분석용 전계방출형 주사전자현미경(FESEM)
최대 200nA의 빔 전류를 위한 3단계 콘덴서 전자 광학 컬럼 설계를 갖춘 SEM4000Pro는 EDS, EBSD, WDS 및 기타 분석 응용 분야에서 이점을 제공합니다. 이 시스템은 저진공 모드는 물론 고성능 저진공 2차 전자 검출기 및 접이식 후방 산란 전자 검출기를 지원하여 전도성이 낮거나 비전도성인 시료를 직접 관찰하는 데 도움이 됩니다.
표준 광학 탐색 모드와 직관적인 사용자 조작 인터페이스로 분석 작업이 쉬워집니다.
• 고휘도, 장수명 쇼트키 전계방출형 전자총 장착
• 30kV에서 0.9nm의 고해상도
• 3단계 콘덴서 렌즈 설계, 최대 빔 전류 최대 200nA의 넓은 빔 전류 조정 범위
• 표준 저진공 모드, 고성능 저진공 2차 전자 검출기 및 접이식 후방 산란 전자 검출기
• 비침수 자기장이 없는 대물렌즈 설계로 자기 시료를 직접 관찰할 수 있습니다
• 표준 광학 네비게이션 모드
주요 매개변수 | 해상도 | 고진공 |
0.9nm @ 30kV, SE |
저진공 |
2.5nm @ 30kV, BSE, 30Pa 1.5nm @ 30kV, SE, 30Pa |
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가속전압 | 0.2~30kV | ||
배율 | 1 ~ 1,000,000 x | ||
전자총형 | 고휘도 쇼트키 전계 방출 전자총 | ||
시료실 | 진공시스템 | 완전자동제어 | |
저진공(옵션) | 최대 180Pa | ||
카메라 | 듀얼 카메라(광학 네비게이션 + 챔버 모니터링) | ||
거리 |
X: 110mm Y: 110mm Z: 65mm T: -10°~ +70° R: 360° |
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탐지기 및 확장 | 표준 |
Everhart-Thornley 검출기(ETD) 저진공 검출기(LVD) 후방산란전자검출기(BSED) |
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선택 |
STEM 검출기 에너지 분산형 분광계(EDS) 전자 후방산란 회절 패턴(EBSD) 시편 교환 로드락 트랙볼 및 노브 제어판 |
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소프트웨어 | 언어 | 영어 | |
OS | 윈도우 | ||
내비게이션 | Nav-Cam, 제스처 퀵 네비게이션 | ||
자동 기능 | 자동 밝기 및 대비, 자동 초점, 자동 스티그마터 |