CIQTEK SEM4000은 고휘도 장수명 쇼트키 전계방출 전자총을 탑재한 분석용 열전계방출 주사전자현미경입니다.
크고 지속적으로 조정 가능한 빔 전류를 갖춘 3단계 자기 렌즈 설계는 EDS, EBSD, WDS 및 기타 응용 분야에서 확실한 이점을 제공합니다. 저진공 모드를 지원하여 약하거나 비전도성 샘플의 전도도를 직접 관찰할 수 있습니다. 표준 광학 탐색 모드와 직관적인 작동 인터페이스를 통해 분석 작업이 쉬워집니다.
• 고휘도 및 장수명의 쇼트키 전계 방출 전자총 장착
•고해상도, 30kV에서 1nm 분해능 이상
•3단계 자기 렌즈 설계, 넓은 빔 조정 범위
•*고성능 저진공 2차 전자 검출기, 약하거나 비전도성 샘플 관찰
•자기 시료를 직접 관찰할 수 있는 누출 없는 자기 대물렌즈 설계
•표준 광학 탐색 모드
주요 매개변수 | 해결 | 1nm @ 30kV, SE 0.9nm @ 30kV, 줄기 |
가속 전압 | 200V ~ 30kV | |
확대 | 1 ~ 1,000,000x | |
전자총 | 고휘도 쇼트키 전계 방출 전자총 | |
샘플실 | 진공 시스템 | 완전 자동 제어 |
저진공(옵션) | 최대 180Pa | |
카메라 | 듀얼 카메라(광학 네비게이션 + 챔버 내 모니터링) | |
거리 | 엑스: 120mm Y: 115mm Z: 50mm 티: -10°~ +90° 오른쪽: 360° |
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감지기와 확장 | 기준 | Everhart-Thornley 검출기(ETD) |
선택 과목 | 저진공 검출기(LVD) 후방 산란 전자 검출기(BSE) STEM 검출기 EDS EBSD 에어록 트랙볼 & 손잡이 제어판 |
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소프트웨어 | 언어 | 영어 |
OS | 윈도우 | |
항해 | 광학 탐색, 제스처 탐색 | |
자동 기능 | 자동 밝기 대비, 자동 초점, 자동 난시 |