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초고해상도 전계 방출 주사 전자 현미경(FESEM): 0.6 nm@15 kV 및 1.0 nm@1 kV

CIQTEK SEM5000X 초고해상도 FESEM은 업그레이드된 컬럼 엔지니어링 프로세스, "SuperTunnel" 기술 및 고해상도 대물렌즈 설계를 활용하여 저전압 이미징 해상도를 향상시킵니다.

FESEM SEM5000X 시편 챔버 포트는 16개로 확장되었으며 시편 교환 로드록은 최대 8인치 웨이퍼 크기(최대 직경 208mm)를 지원하여 응용 분야를 크게 확장합니다. 고급 스캐닝 모드와 향상된 자동화 기능은 더욱 강력한 성능과 더욱 최적화된 경험을 제공합니다.

초고해상도 FESEM
(0.6 nm@15 kV)
"슈퍼터널" 전자광학 기술
*이중 감속 모드 (Duo-Dec)

기계식 유센트럴 시편 스테이지
*시편 교환 로드록(최대 8")

(*FESEM SEM5000X용 옵션 액세서리)

CIQTEK FESEM SEM5000X 기술 하이라이트

0.6nm@15kV, 1.0nm@1 kV의 획기적인 초고해상도 FESEM 이미징
시편 스테이지 직렬 감속과 "SuperTunnel" 전자 광학 기술을 결합한 이중 감속 기술로 극한의 이미징 조건에 도전할 준비가 되어 있습니다.
고정밀 기계적 유센트릭 시편 스테이지, 매우 안정적인 진동 감쇠 설계, 일체형 엔클로저 옵션도 사용 가능, 분해능에 영향을 미칠 수 있는 환경 간섭을 크게 최소화

반도체 및 과학 연구용 최대 8" 웨이퍼(최대 직경 208mm)에 대한 시편 교환 로드록

CIQTEK 초고해상도 FESEM SEM5000X

CIQTEK FESEM SEM5000X 사양
주요 매개변수	해상도	0.6nm @ 15kV, SE 1.0nm @ 1kV, SE
	가속전압	0.02~30kV
	배율	1~2,500,000x
	전자총형	쇼트키 전계 방출 전자총
시료실	진공시스템	완전자동제어
	카메라	듀얼 카메라(광학 네비게이션 + 챔버 모니터)
	무대형	5축 기계식 Eucentric 시편 스테이지
	스테이지 범위	X=110mm, Y=110mm, Z=65mm T: -10*~+70°, R: 360°
SEM 감지기 및 확장	표준	렌즈내검출기 Everhart-Thornley 검출기(ETD)
SEM 감지기 및 확장	선택	접이식 후방산란전자검출기(BSED) 접이식 주사투과전자현미경 검출기(STEM) 에너지 분산형 분광계(EDS/EDX) 전자 후방산란 회절 패턴(EBSD) 시편 교환 로드록(4" 및 8" 옵션) 트랙볼 및 노브 제어판 시료단계 탠덤 감속 자기장 및 음향소음차폐시스템(SEMI 인증)
소프트웨어	언어	영어
	운영체제	윈도우
	내비게이션	Nav-Cam, 제스처 퀵 네비게이션
	자동 기능	자동 밝기 및 대비, 자동 초점, 자동 스티그마메이터

FIB-SEM | DB500

FIB(집속 이온빔) 컬럼을 갖춘 전계 방출 주사 전자 현미경(FE-SEM) CIQTEK DB500 집속 이온빔 주사 전자 현미경(FIB-SEM)은 "SuperTunnel" 전자 광학 기술, 낮은 수차 및 비자성 대물렌즈 설계를 채택하여 저전압 및 고해상도 기능을 보장합니다. 나노 규모 분석. 이온 컬럼은 나노제조를 위한 매우 안정적인 고품질 이온빔을 통해 Ga+ 액체 금속 이온 소스를 촉진합니다. FIB-SEM DB500은 나노 조작기, 가스 주입 시스템, 대물렌즈용 전기 오염 방지 메커니즘, 24개의 확장 포트가 통합되어 있어 포괄적인 구성과 확장성을 갖춘 만능 나노 분석 및 제작 플랫폼입니다. .

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field emission scanning electron microscope fe sem

페셈 | SEM4000Pro

고휘도 장수명 쇼트키 전계방출형 전자총을 장착한 분석용 전계방출형 주사전자현미경(FESEM) 최대 200nA의 빔 전류를 위한 3단계 콘덴서 전자 광학 컬럼 설계를 갖춘 SEM4000Pro는 EDS, EBSD, WDS 및 기타 분석 응용 분야에서 이점을 제공합니다. 이 시스템은 저진공 모드는 물론 고성능 저진공 2차 전자 검출기 및 접이식 후방 산란 전자 검출기를 지원하여 전도성이 낮거나 비전도성인 시료를 직접 관찰하는 데 도움이 됩니다. 표준 광학 탐색 모드와 직관적인 사용자 조작 인터페이스로 분석 작업이 쉬워집니다.

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