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FIB-SEM | DB500

FIB(집속 이온빔) 컬럼을 갖춘 전계 방출 주사 전자 현미경(FE-SEM)

CIQTEK DB500 집속 이온빔 주사 전자 현미경(FIB-SEM)은 "SuperTunnel" 전자 광학 기술, 낮은 수차 및 비자성 대물렌즈 설계를 채택하여 저전압 및 고해상도 기능을 보장합니다. 나노 규모 분석. 이온 컬럼은 나노제조를 위한 매우 안정적인 고품질 이온빔을 통해 Ga+ 액체 금속 이온 소스를 촉진합니다.

FIB-SEM DB500은 나노 조작기, 가스 주입 시스템, 대물렌즈용 전기 오염 방지 메커니즘, 24개의 확장 포트가 통합되어 있어 포괄적인 구성과 확장성을 갖춘 만능 나노 분석 및 제작 플랫폼입니다. .

"슈퍼터널" 전자광학 기술
갈륨이온빔
완전 구성

가스분사시스템
통합 매니퓰레이터
우수한 보증

CIQTEK DB500 FIB-SEM 특징 <

• 자기가 없는 대물렌즈를 갖춘 'SuperTunnel' 전자 광학 기술로 고해상도 이미징에 적합하고 자기 표본 이미징과 호환됩니다.

· 집속이온빔(FIB) 컬럼은 매우 안정적인 고품질 이온빔을 출력하며, 고품질 나노 가공 및 TEM 시료 준비에 적합합니다.

• 정밀한 핸들링을 위한 통합 제어 시스템을 갖춘 검체 챔버의 압전 구동 조작기.

• 강력한 확장성을 갖춘 자체 개발 시스템입니다. 신속한 이온 소스 교환을 위한 통합 이온 소스 어셈블리 설계. FIB-SEM DB500에 대한 전세계 서비스, 3년 보증.

CIQTEK DB500 FIB-SEM 기술 하이라이트

FIBSEM DB500 - Focused Ion Beam Column

집속 이온빔(FIB) 컬럼

해상도: 3nm@30kV

프로브 전류(이온빔 전류 범위): 1 pA~50 nA

가속전압 범위: 0.5~30 kV

이온 소스 교환 간격: ≥1000시간

안정성: 72시간 연속 작동

FIBSEM DB500 - Nano-manipulator

나노매니퓰레이터

챔버 내부 장착

3축 전압전 구동

스테퍼 모터 정확도 ≤10nm

최대 이동 속도 2mm/s

통합제어

FIBSEM DB500 - Ion Beam-Electron Beam Collaboration

이온빔-전자빔 협력

FIBSEM DB500 - Gas Injection System

가스분사시스템

단일 GIS 설계

다양한 가스 전구체 소스 사용 가능

바늘 삽입 거리 ≥35mm

모션 반복성 ≤10 μm

가열 온도 제어 반복성 ≤0.1°C

가열 범위: 실온 ~ 90°C(194°F)

통합제어

CIQTEK FIB-SEM DB500 사양
전자빔 시스템	전자총형	고휘도 쇼트키 전계 방출 전자총
	해상도	1.2nm@15kV
	가속전압	0.02~30kV
이온빔 시스템	이온 소스 유형	액체갈륨이온원
	해상도	3nm@30kV
	가속전압	0.5~30kV
시료실	진공시스템	전자동 제어, 오일프리 진공 시스템
	카메라	카메라 3대 (광학 네비게이션 + 챔버 모니터 x2)
	무대형	5축 기계식 유센트럴 시편 스테이지
	스테이지 범위	X=110mm, Y=110mm, Z=65mm T: -10°~+70°, R:360°
SEM 감지기 및 확장	표준	렌즈내검출기 Everhart-Thornley 검출기(ETD)
SEM 감지기 및 확장	선택	접이식 후방산란전자검출기(BSED) 접이식 주사투과전자현미경 검출기(STEM) 에너지분산분광계(EDS/EDX) 전자 후방산란 회절 패턴(EBSD) 나노조작기 가스분사시스템 플라즈마 세척제 시편 교환 로드락 트랙볼 및 노브 제어판
소프트웨어	언어	영어
	운영체제	윈도우
	내비게이션	Nav-Cam, 제스처 퀵 네비게이션
	자동기능	자동 밝기 및 대비, 자동 초점, 자동 스티그마터

CIQTEK FIB-SEM 집속이온빔 주사전자현미경 BD500

CIQTEK FIB-SEM 실증 시연 - TEM 시료 준비

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