CIQTEK, M&M 2025에서 북미 전자현미경 여정을 더욱 발전시키다

초고해상도 텅스텐 필라멘트 주사 전자 현미경 그만큼 시크텍 SEM3300 주사전자현미경(SEM) "슈퍼 터널" 전자 광학, 인렌즈 전자 검출기, 정전식 및 전자기식 복합 대물렌즈와 같은 기술을 통합합니다. 이러한 기술을 텅스텐 필라멘트 현미경에 적용함으로써 기존 주사전자현미경(SEM)의 오랜 분해능 한계를 뛰어넘어, 이전에는 필드 방출 주사전자현미경(FSEM)으로만 가능했던 저전압 분석 작업을 수행할 수 있게 되었습니다.

Ga+ 집속 이온 빔 전계 방출 주사 전자 현미경 그만큼 CIQTEK DB550 집속 이온 빔 주사 전자 현미경(FIB-SEM) 나노 분석 및 시료 준비를 위한 집속 이온 빔 컬럼을 갖추고 있습니다. "슈퍼 터널" 전자 광학 기술, 낮은 수차, 비자성 대물렌즈 설계를 활용하며, "저전압, 고해상도" 기능을 통해 나노스케일 분석 성능을 보장합니다. 이온 컬럼은 매우 안정적이고 고품질의 이온 빔을 제공하는 Ga+ 액체 금속 이온 소스를 활용하여 나노 제작 성능을 보장합니다. DB550은 나노 조작기, 가스 주입 시스템, 사용자 친화적인 GUI 소프트웨어가 통합된 올인원 나노 분석 및 제작 워크스테이션입니다.

고속 완전 자동화된 필드 방출 주사전자현미경 워크스테이션 CIQTEK HEM6000 고휘도 대구경 전류 전자총, 고속 전자빔 편향 시스템, 고전압 샘플 스테이지 감속, 동적 광학 축, 침지 전자기 및 정전기 콤보 대물 렌즈와 같은 시설 기술을 사용하여 나노 스케일 분해능을 보장하는 동시에 고속 이미지 획득을 달성합니다. 자동화된 작업 프로세스는 더욱 효율적이고 스마트한 대면적 고해상도 이미징 워크플로우와 같은 응용 분야를 위해 설계되었습니다. 이미징 속도는 기존 전계방출 주사전자현미경(FESEM)보다 5배 이상 빠릅니다.

초고분해능 전계방출 주사전자현미경(FESEM) 그만큼 CIQTEK SEM5000X 최적화된 전자 광학 컬럼 설계를 통해 전체 수차를 30%까지 줄인 초고분해능 FESEM으로, 15kV에서 0.6nm, 1kV에서 1.0nm의 초고분해능을 구현합니다. 높은 분해능과 안정성 덕분에 첨단 나노 구조 재료 연구뿐만 아니라 첨단 노드 반도체 IC 칩의 개발 및 제조에도 유리합니다.