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전계 방출 주사 전자 현미경 | SEM5000

CIQTEK SEM5000은 고해상도 이미징 및 분석 능력을 갖춘 전계방출형 주사전자현미경으로, 고압 전자빔 터널 기술(SuperTunnel), 저수차, 비침수성 등 첨단 전자광학 컬럼 설계의 장점과 풍부한 기능을 지원합니다. 대물렌즈를 사용하면 저전압 고해상도 이미징이 가능하며 자기 표본도 분석할 수 있습니다.

광학 탐색, 자동화된 기능, 신중하게 설계된 인간-컴퓨터 상호 작용 사용자 인터페이스, 최적화된 작동 및 사용 프로세스를 통해 전문가 여부에 관계없이 고해상도 이미징 및 분석 작업을 빠르게 시작하고 완료할 수 있습니다.

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• 낮은 가속 전압에서 고해상도 이미징.

• 전자기 복합 대물렌즈는 저전압 분해능을 향상시키고 자기 표본 관찰을 가능하게 합니다.

• 고압 터널링 기술(SuperTunnel)은 낮은 전압 분해능을 보장합니다.

• 교차가 없는 전자 광학 경로는 시스템 수차를 효과적으로 줄이고 해상도를 향상시킵니다.

• 수냉식 항온 대물렌즈는 대물렌즈 작업의 안정성, 신뢰성 및 반복성을 보장합니다.

• 자동 전환 가능한 조리개를 갖춘 자기 편향 6홀 다양한 조리개 시스템은 기계적 조정이 필요 없으며 클릭 한 번으로 빠른 전환을 통해 고해상도 이미징 또는 대형 빔 분석 모드를 달성합니다.

 

주요 매개변수 해결

0.9nm @ 15kV, SE

1.3nm @ 1.0kV, SE

0.8nm @ 30kV, 줄기

가속 전압 20V ~ 30kV
확대 1 ~ 2,500,000x
전자총 유형 고휘도 쇼트키 전계 방출 전자총
표본실 진공 시스템 완전 자동 제어, 오일 프리 진공 시스템
카메라 듀얼 카메라(광학 네비게이션 + 챔버 모니터)
무대 범위

X: 125mm, Y: 125mm, Z: 50mm

T: -10°~ +90°, R: 360°

(*옵션으로 초대형 챔버 버전 사용 가능)

감지기 및 확장 기준

인렌즈 SE 검출기

Everhart-Thornley 검출기(ETD)

선택 과목

편평한 삽입 매체 각도 후방 산란 전자 검출기

STEM 자동 개폐식 스캐닝 전송 전자 검출기

표본 교환 로드락

패스트 빔 블랭커

에너지 분산 분광학(EDS/EDX)

전자 후방 산란 회절 패턴(EBSD)

전자빔 유도 전류(EBIC)

음극선발광(CL)

현장 인장 단계

나노 조작기

대규모 이미지 스티칭

트랙볼 및 노브 제어판

소프트웨어 언어 영어
운영 체제 윈도우
항해 Nav-Cam, 제스처 탐색
자동 기능 자동 밝기 및 대비, 자동 초점, 자동 스티그메이터

 

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