초고 해상도 전계 방출 스캐닝 전자 현미경 (FESEM)
그만큼 CIQTEK SEM5000X 최적화 된 전자 광학 컬럼 설계를 갖춘 초고 해상도 FESEM으로, 전체 수차가 30%감소하여 0.6 nm@15 kV 및 1 kV의 초고속 해상도를 달성합니다 고해상도와 안정성은 고급 나노 구조 재료 연구와 첨단 기술 노드 반도체 IC 칩의 개발 및 제조에 유리합니다.
목표 렌즈 업그레이드
렌즈의 색채 수차는 12%감소하고, 렌즈 구형 수차는 20%감소되었고, 전체 수차는 30%감소했습니다
이중 빔 감속 기술
대량, 단면 및 불규칙한 표면이있는 표본에 적용되는 렌즈 빔 감속 이중 감속 기술 (인 렌즈 빔 감속 + 시편 단계 탠덤 빔 감속)은 시편 표면 신호-캡처 시나리오의 한계에 도전합니다
"전자 채널링 효과"는 결정 격자에 의한 전자 산란의 현저한 감소를 지칭한다 입사 전자 빔이 Bragg 회절 조건을 충족시켜 많은 전자가 격자를 통과하여 "채널링"효과를 나타낸다
균일 한 조성 및 연마 된 평평한 표면을 갖는 다결정 재료의 경우, 후방 산란 전자의 강도는 입사 전자 빔과 결정 평면 사이의 상대 방향에 의존한다 방향 변동이 더 큰 곡물은 더 강한 신호를 나타내므로 더 밝은 이미지, 이러한 입자 방향 맵을 사용한 질적 특성화가 달성됩니다
>> 다중 운영 모드 : 브라이트 필드 (BF) 이미징, 다크 필드 (DF) 이미징, 하이 앵당 환형 어두운 필드 (HAADF) 이미징
>> 에너지 분산 분광법
>>catholuminescence
CIQTEK SEM 현미경 소프트웨어는 다양한 유형의 입자 및 기공 샘플에 적합한 다양한 표적 검출 및 세분화 알고리즘을 사용합니다 입자 및 기공 통계의 정량적 분석을 가능하게하며 재료 과학, 지질학 및 환경 과학과 같은 분야에 적용될 수 있습니다
전자 현미경으로 캡처 한 이미지에서 온라인 또는 오프라인 이미지 후 처리를 수행하고 일반적으로 사용되는 EM 이미지 처리 기능, 편리한 측정 및 주석 도구를 통합하십시오
라인 너비 가장자리의 자동 인식으로 인해보다 정확한 측정과 일관성이 높아집니다 라인, 공간, 피치 등과 같은 다중 에지 감지 모드를 지원합니다 여러 이미지 형식과 호환되며 일반적으로 사용되는 다양한 이미지 사후 처리 기능이 장착됩니다 소프트웨어는 사용하기 쉽고 효율적이며 정확합니다
이미지 획득, 작동 조건 설정, 전원 켜기/오프, 스테이지 제어 등 SEM 현미경 제어를위한 인터페이스 세트를 제공합니다 간결한 인터페이스 정의는 특정 전자 현미경 작동 스크립트 및 소프트웨어의 빠른 개발을 허용하여 관심 영역, 산업용 자동 데이터 획득, 이미지 표류 보정 및 기타 기능을 자동화 할 수 있습니다 규조토 분석, 철강 불순물 검사, 청결성 분석, 원자재 제어 등과 같은 전문 분야에서 소프트웨어 개발에 사용할 수 있습니다
CIQTEK SEM5000X FESEM 현미경 사양 | ||
전자 광학 | 해결 | 0.6 nm @ 15 kv, se 1.0 nm @ 1 kv, se |
가속 전압 | 0.02kv ~ 30kV | |
확대 | 1 ~ 2,500,000 x | |
전자 총 유형 | Schottky 현장 방출 전자 건 | |
시편 챔버 | 카메라 | 듀얼 카메라 (광학 내비게이션 + 챔버 모니터) |
무대 유형 | 5 축 기계식 유엔성 시편 단계 | |
무대 범위 | x = 110 mm, y = 110 mm, z = 65 mm T : -10*~+70 °, R : 360 ° | |
SEM 검출기 및 확장 | 기준 | 내 렌즈 탐지기 Everhart-Thornley Detector (ETD) |
선택 과목 | 개폐식 후산 전자 검출기 (BSED) 개폐식 스캐닝 전송 전자 현미경 검출기 (STEM) 낮은 진공 검출기 (LVD) 에너지 분산 분광계 (eds / edx) 전자 후방 산란 회절 패턴 (EBSD) 시편 교환 하중 락 (4 인치 8 인치) 트랙볼 및 손잡이 제어판 듀오 DEC 모드 (Duo-DEC) | |
사용자 인터페이스 | 언어 | 영어 |
운영 체제 | 창 | |
항해 | 광학 탐색, 제스처 빠른 탐색, 트랙볼 (선택 사항) | |
자동 기능 | 자동 밝기 및 대비, 자동 초점, 자동 스티그 메이터 |