fesem edx

매우 높은 해상도 | SEM5000X

초고 해상도 전계 방출 스캐닝 전자 현미경 (FESEM)

그만큼 CIQTEK SEM5000X 최적화 된 전자 광학 컬럼 설계를 갖춘 초고 해상도 FESEM으로, 전체 수차가 30%감소하여 0.6 nm@15 kV 및 1 kV의 초고속 해상도를 달성합니다 고해상도와 안정성은 고급 나노 구조 재료 연구와 첨단 기술 노드 반도체 IC 칩의 개발 및 제조에 유리합니다.

●–¶ 전자 광학

SEM5000X Electron Optics

목표 렌즈 업그레이드

렌즈의 색채 수차는 12%감소하고, 렌즈 구형 수차는 20%감소되었고, 전체 수차는 30%감소했습니다

SEM5000X Electron Optics

이중 빔 감속 기술

대량, 단면 및 불규칙한 표면이있는 표본에 적용되는 렌즈 빔 감속 이중 감속 기술 (인 렌즈 빔 감속 + 시편 단계 탠덤 빔 감속)은 시편 표면 신호-캡처 시나리오의 한계에 도전합니다


●–¶ 저전압 고해상도 이미지


●–¶ 렌즈 전자 감지기 / 시편


●–¶ Everhart-Thornley Detector (ETD)


●–¶ 개폐식 후산 전자 검출기 (BSED)*선택 과목

FESEM Retractable Back-Scattered Electron Detector (BSED)

●–¶ BSED 기반 ECCI 모드 (전자 채널링 대비 영상)

"전자 채널링 효과"는 결정 격자에 의한 전자 산란의 현저한 감소를 지칭한다 입사 전자 빔이 Bragg 회절 조건을 충족시켜 많은 전자가 격자를 통과하여 "채널링"효과를 나타낸다

균일 한 조성 및 연마 된 평평한 표면을 갖는 다결정 재료의 경우, 후방 산란 전자의 강도는 입사 전자 빔과 결정 평면 사이의 상대 방향에 의존한다 방향 변동이 더 큰 곡물은 더 강한 신호를 나타내므로 더 밝은 이미지, 이러한 입자 방향 맵을 사용한 질적 특성화가 달성됩니다


●–¶ 다양한 탐지기를 통한 다중 채널 이미징 동시에


●–¶ 개폐식 스캐닝 투과 전자 현미경 (STEM) 검출기

FESEM Retractable Scanning Transmission Electron Microscopy (STEM) Detector

>> 다중 운영 모드 : 브라이트 필드 (BF) 이미징, 다크 필드 (DF) 이미징, 하이 앵당 환형 어두운 필드 (HAADF) 이미징


●–¶ CIQTEK 전자 현미경의 발전 - 더 많은 옵션

>> 에너지 분산 분광법

  • Energy Dispersive Spectrometry

>>catholuminescence

  • sem image analysis -Catholuminescence
  • sem image analysis - Catholuminescence

>>EBSD

  • sem EBSD
  • sem EBSD

●–¶ 입자 및 기공 분석 소프트웨어 (입자) *선택 과목

SEM Particle & Pore Analysis Software (Particle)

CIQTEK SEM 현미경 소프트웨어는 다양한 유형의 입자 및 기공 샘플에 적합한 다양한 표적 검출 및 세분화 알고리즘을 사용합니다 입자 및 기공 통계의 정량적 분석을 가능하게하며 재료 과학, 지질학 및 환경 과학과 같은 분야에 적용될 수 있습니다


●–¶ 이미지 사후 처리 소프트웨어*선택 과목

SEM Microscope Image Post-processing Software

전자 현미경으로 캡처 한 이미지에서 온라인 또는 오프라인 이미지 후 처리를 수행하고 일반적으로 사용되는 EM 이미지 처리 기능, 편리한 측정 및 주석 도구를 통합하십시오


●–¶ 자동 측정 *선택 과목

SEM Microscope software Auto Measure

라인 너비 가장자리의 자동 인식으로 인해보다 정확한 측정과 일관성이 높아집니다 라인, 공간, 피치 등과 같은 다중 에지 감지 모드를 지원합니다 여러 이미지 형식과 호환되며 일반적으로 사용되는 다양한 이미지 사후 처리 기능이 장착됩니다 소프트웨어는 사용하기 쉽고 효율적이며 정확합니다


●–¶ 소프트웨어 개발 키트 (SDK) *선택 과목

SEM Microscope Software Development Kit (SDK)

이미지 획득, 작동 조건 설정, 전원 켜기/오프, 스테이지 제어 등 SEM 현미경 제어를위한 인터페이스 세트를 제공합니다 간결한 인터페이스 정의는 특정 전자 현미경 작동 스크립트 및 소프트웨어의 빠른 개발을 허용하여 관심 영역, 산업용 자동 데이터 획득, 이미지 표류 보정 및 기타 기능을 자동화 할 수 있습니다 규조토 분석, 철강 불순물 검사, 청결성 분석, 원자재 제어 등과 같은 전문 분야에서 소프트웨어 개발에 사용할 수 있습니다


●–¶ 자동 맵 *선택 과목

FESEM Microscope software Auto Measure

CIQTEK SEM5000X FESEM 현미경 사양
전자 광학해결0.6 nm @ 15 kv, se
1.0 nm @ 1 kv, se
가속 전압0.02kv ~ 30kV
확대1 ~ 2,500,000 x
전자 총 유형Schottky 현장 방출 전자 건
시편 챔버카메라듀얼 카메라 (광학 내비게이션 + 챔버 모니터)
무대 유형5 축 기계식 유엔성 시편 단계
무대 범위x = 110 mm, y = 110 mm, z = 65 mm
T : -10*~+70 °, R : 360 °
SEM 검출기 및 확장기준내 렌즈 탐지기
Everhart-Thornley Detector (ETD)
선택 과목

개폐식 후산 전자 검출기 (BSED)

개폐식 스캐닝 전송 전자 현미경 검출기 (STEM)

낮은 진공 검출기 (LVD)

에너지 분산 분광계 (eds / edx)

전자 후방 산란 회절 패턴 (EBSD)

시편 교환 하중 락 (4 인치 8 인치)

트랙볼 및 손잡이 제어판

듀오 DEC 모드 (Duo-DEC)

사용자 인터페이스언어영어
운영 체제
항해광학 탐색, 제스처 빠른 탐색, 트랙볼 (선택 사항)
자동 기능자동 밝기 및 대비, 자동 초점, 자동 스티그 메이터

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Ciqtek을 읽으십시오 SEM현미경 고객 통찰력 및 lSEM 업계 리더로서 Ciqtek의 강점과 업적에 대해 더 많이 얻으십시오!이메일: info@ciqtek.com

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