scanning electron microscope machine

텅스텐 필라멘트 SEM | SEM3200

고성능 범용 텅스텐 필라멘트 SEM 현미경

CIQTEK SEM3200 SEM 현미경은 전반적인 성능이 뛰어난 탁월한 범용 텅스텐 필라멘트 주사 전자 현미경(SEM)입니다. 독특한 이중 양극 전자총 구조는 고해상도를 보장하고 낮은 여기 전압에서 이미지 신호 대 잡음비를 향상시킵니다. 또한 다양한 옵션 액세서리를 제공하여 SEM3200을 뛰어난 확장성을 갖춘 다용도 분석 장비로 만들어줍니다.

ⶠ전자총의 이중 양극 구조 *선택 사항

sem3200 Intermittent Anode

간헐양극

간헐양극은 음극조립체와 양극 사이에 설치된다. 낮은 여기 전압 하에서 전자빔의 추출 효율이 향상되고 분해능이 10% 증가하며 신호 대 잡음비가 30% 증가할 수 있습니다.

  • carbon material samples under low excitation voltages
  • carbon material samples under low excitation voltages

탄소 재료 샘플의 경우 낮은 여기 전압에서 빔 침투 깊이가 얕아 표본의 더 풍부한 세부 정보로 실제 표면 형태 정보를 캡처할 수 있습니다.

  • polymer fiber samples, high excitation voltages
  • polymer fiber samples, high excitation voltages

고분자 섬유 시료의 경우 높은 여기 전압은 시편에 빔 손상을 일으키는 반면, 낮은 전압 빔은 손상 없이 표면 세부 사항을 보존할 수 있습니다.


...저진공 SEM 모드

CIQTEK SEM3200 SEM 현미경은 2단계 저진공 모드를 지원합니다. 압력 제한 조리개 없이 5~180 Pa 챔버 압력에 도달할 수 있고 PLA를 사용하면 180~1000 Pa에 도달할 수 있습니다. 특별히 설계된 대물렌즈 진공 챔버는 저진공에서 전자 평균 자유 경로를 최소화하고 분해능을 3 nm @ 30 kV로 유지합니다.

입사된 전자빔은 표면 위의 공기 분자를 이온화하여 전자와 이온을 생성하며, 이 이온은 시료 표면에 생성된 하전 입자를 중성화하여 전하 완화 효과를 얻습니다.

  • SEM3200 Analysis Image
  • SEM3200 Analysis Image

시료 표면에서 방출되는 2차 전자는 공기 분자를 이온화하여 전자, 이온 및 광신호를 동시에 생성합니다. 생성된 전자는 다른 공기 분자를 이온화하고 많은 수의 광 신호를 생성한 후 저진공 감지기(LVD)에 의해 포착됩니다.

  • SEM Microscope sem3200
  • SEM Microscope sem3200 Analysis image

고진공 모드에서 LVD는 표본에서 방출되는 음극발광 신호를 직접 감지하며, 이를 BSED 채널에서 동시에 이미징하여 음극발광 이미징을 위해 캡처할 수 있습니다.


ⶠ광학항법

수직으로 장착된 챔버 카메라를 사용하여 표본 스테이지 탐색을 위한 광학 이미지를 캡처하면 보다 직관적이고 정확한 표본 위치 지정이 가능합니다.

  • SEM Optical Navigation

â¶지능형 보조 이미지 난시 교정

이 모드에서는 X와 Y의 난시값이 픽셀에 따라 달라집니다. 최적의 난시값에서 영상의 선명도가 극대화되어 신속한 스티그메이터 조정이 가능합니다.

  • sem Intelligent Assisted Image Astigmatism Correction
  • sem Intelligent Assisted Image Astigmatism Correction


ⶠ자동 기능

자동 밝기 및 대비, 자동 초점, 자동 난시 보정 기능이 향상되었습니다. 클릭 한번으로 이미징!

자동 초점

  • during autofocus
  • after autofocus

자동 난시 보정

  • during autofocus
  • after autofocus

자동 밝기 및 명암

  • during autofocus
  • after autofocus

ⶠ더 안전한 사용


...¶ 손쉬운 필라멘트 교체

사전 정렬된 교체 필라멘트 모듈을 사용할 준비가 되었습니다.

ⶠ입자 및 기공 분석 소프트웨어(입자) *선택 사항

SEM Particle & Pore Analysis Software (Particle)

CIQTEK SEM 현미경 소프트웨어는 다양한 유형의 입자 및 기공 샘플에 적합한 다양한 표적 감지 및 분할 알고리즘을 사용합니다. 입자 및 기공 통계의 정량적 분석이 가능하며 재료과학, 지질학, 환경과학 등의 분야에 응용이 가능합니다.


ⶠ이미지 후처리 소프트웨어

SEM Microscope Image Post-processing Software

전자현미경으로 촬영한 이미지에 대해 온라인 또는 오프라인 이미지 후처리를 수행하고 일반적으로 사용되는 EM 이미지 처리 기능, 편리한 측정 및 주석 도구를 통합합니다.


... 자동 측정 *옵션

SEM Microscope software Auto Measure

선폭 가장자리를 자동으로 인식하여 더 정확한 측정과 더 높은 일관성을 제공합니다. Line, Space, Pitch 등 다양한 에지 감지 모드를 지원합니다. 다양한 이미지 형식과 호환되며 일반적으로 사용되는 다양한 이미지 후처리 기능을 갖추고 있습니다. 이 소프트웨어는 사용하기 쉽고 효율적이며 정확합니다.


... 소프트웨어 개발 키트(SDK) *선택 사항

SEM Microscope Software Development Kit (SDK)

이미지 획득, 작동 조건 설정, 전원 켜기/끄기, 스테이지 제어 등을 포함하여 SEM 현미경을 제어하기 위한 일련의 인터페이스를 제공합니다. 간결한 인터페이스 정의를 통해 특정 전자 현미경 작동 스크립트 및 소프트웨어의 신속한 개발이 가능합니다. 관심 영역 자동 추적, 산업 자동화 데이터 수집, 이미지 드리프트 보정 및 기타 기능을 제공합니다. 규조류 분석, 철강 불순물 검사, 청정도 분석, 원료 관리 등 전문 분야의 소프트웨어 개발에 활용 가능합니다.


ⶠ자동지도 *선택사항

  • during autofocus

CIQTEK SEM3200 SEM 현미경
전자광학 해상도 3nm @ 30kV, SE
7nm @ 3kV, SE
4nm @ 30kV, BSE
3nm @ 30kV, SE, 30Pa
가속전압 0.2kV ~ 30kV
배율(폴라로이드) 1x~300,000x
시료실 저진공 5 ~ 1000 Pa (선택)
카메라 광학항법
챔버 모니터링
무대형 5축 진공호환 전동식
XY 범위 125mm
Z 범위 50mm
T 범위 - 10° ~ 90°
R 범위 360°
SEM 검출기 표준 Everhart-Thornley 검출기(ETD)
선택 접이식 후방 산란 전자 검출기(BSED)
에너지 분산 분광계(EDS / EDX)
전자 후방 산란 회절 패턴(EBSD)
선택 시편 교환 로드락
트랙볼 및 노브 제어판
사용자 인터페이스 운영체제 윈도우
내비게이션 광학 네비게이션, 제스처 퀵 네비게이션, 트랙볼(옵션)
자동 기능 자동 밝기 및 대비, 자동 초점, 자동 낙인기
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