field emission scanning electron microscope fe sem

페셈 | SEM4000Pro

대형 빔 I

을 갖춘 분석 전계 방출 주사 전자 현미경(FESEM)

CIQTEK SEM4000Pro는 FE-SEM의 분석모델로 고휘도, 장수명의 쇼트키 전계방출 전자총을 탑재하고 있습니다. 3단계 전자기 렌즈 설계는 EDS/EDX, EBSD, WDS 등과 같은 분석 응용 분야에서 상당한 이점을 제공합니다. 저진공 모드, 고성능 저진공 2차 전자 검출기, 접이식 후방 산란 전자 검출기가 표준으로 제공되어 전도성이 낮거나 비전도성인 시편을 관찰하는 데 도움이 됩니다.

ⶠ전자광학

sem4000pro Electron Optics

...저진공 모드

저진공 모드에서는 압력 제한 구멍 없이 10-180 Pa의 범위에 도달할 수 있습니다. 특별히 설계된 대물렌즈 진공 챔버는 저진공 조건에서 전자 평균 자유 경로를 최소화하고 저진공 모드에서 30kV에서 1.5nm의 분해능을 달성합니다.

시편 표면에서 2차 전자 방출은 공기 분자를 이온화하는 동시에 전자, 이온 및 광자를 생성합니다. 생성된 전자는 다른 공기 분자를 더욱 이온화하며, 저진공 2차 전자 검출기(LVD)는 이러한 과정에서 생성된 대량의 광자 신호를 포착합니다.

  • SEM Low Vacuum Mode
  • SEM Low Vacuum Mode

입사된 전자빔은 시료 표면의 공기 분자를 이온화하여 전자와 이온을 생성합니다. 이러한 이온은 표면의 대전을 중화시켜 대전 효과를 감소시킵니다.

ⶠ입자 및 기공 분석 소프트웨어(입자) *선택 사항

SEM Particle & Pore Analysis Software (Particle)

CIQTEK SEM 현미경 소프트웨어는 다양한 유형의 입자 및 기공 샘플에 적합한 다양한 표적 감지 및 분할 알고리즘을 사용합니다. 입자 및 기공 통계의 정량적 분석이 가능하며 재료과학, 지질학, 환경과학 등의 분야에 응용이 가능합니다.


ⶠ이미지 후처리 소프트웨어 *선택 사항

SEM Microscope Image Post-processing Software

전자현미경으로 촬영한 이미지에 대해 온라인 또는 오프라인 이미지 후처리를 수행하고 일반적으로 사용되는 EM 이미지 처리 기능, 편리한 측정 및 주석 도구를 통합합니다.


... 자동 측정 *옵션

SEM Microscope software Auto Measure

선폭 가장자리를 자동으로 인식하여 더 정확한 측정과 더 높은 일관성을 제공합니다. Line, Space, Pitch 등 다양한 에지 감지 모드를 지원합니다. 다양한 이미지 형식과 호환되며 일반적으로 사용되는 다양한 이미지 후처리 기능을 갖추고 있습니다. 이 소프트웨어는 사용하기 쉽고 효율적이며 정확합니다.


... 소프트웨어 개발 키트(SDK) *선택 사항

SEM Microscope Software Development Kit (SDK)

이미지 획득, 작동 조건 설정, 전원 켜기/끄기, 스테이지 제어 등을 포함하여 SEM 현미경을 제어하기 위한 일련의 인터페이스를 제공합니다. 간결한 인터페이스 정의를 통해 특정 전자 현미경 작동 스크립트 및 소프트웨어의 신속한 개발이 가능합니다. 관심 영역 자동 추적, 산업 자동화 데이터 수집, 이미지 드리프트 보정 및 기타 기능을 제공합니다. 규조류 분석, 철강 불순물 검사, 청정도 분석, 원료 관리 등 전문 분야의 소프트웨어 개발에 활용 가능합니다.


ⶠ자동지도 *선택사항

FESEM Microscope software Auto Measure

CIQTEK SEM4000Pro FESEM 현미경 사양
전자광학 해상도 고진공

0.9nm @ 30kV, SE

저진공

2.5nm @ 30kV, BSE, 30Pa

1.5nm @ 30kV, SE, 30Pa

가속전압 0.2kV ~ 30kV
배율(폴라로이드) 1 ~ 1,000,000 x
전자총형 쇼트키 전계 방출 전자총
시료실 저진공 최대 180Pa
카메라 듀얼 카메라(광학 네비게이션 + 챔버 모니터링)
XY 범위 110mm
Z 범위 65mm
T 범위 -10° ~ +70°
R 범위 360°
SEM 감지기 및 확장 표준

Everhart-Thornley 검출기(ETD)

저진공 검출기(LVD)

후방산란전자검출기(BSED)

선택

접이식 주사투과전자현미경 검출기(STEM)

에너지분산분광기(EDS/EDX)

전자 후방산란 회절 패턴(EBSD)

시편 교환 로드록(4인치/8인치~

트랙볼 및 노브 제어판

사용자 인터페이스 언어 영어
OS 윈도우
내비게이션 광학 네비게이션, 제스처 퀵 네비게이션, 트랙볼(옵션)
자동기능 자동 밝기 및 대비, 자동 초점, 자동 스티그마터
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