대형 빔 I
을 갖춘 분석 전계 방출 주사 전자 현미경(FESEM)
CIQTEK SEM4000Pro는 FE-SEM의 분석모델로 고휘도, 장수명의 쇼트키 전계방출 전자총을 탑재하고 있습니다. 3단계 전자기 렌즈 설계는 EDS/EDX, EBSD, WDS 등과 같은 분석 응용 분야에서 상당한 이점을 제공합니다. 저진공 모드, 고성능 저진공 2차 전자 검출기, 접이식 후방 산란 전자 검출기가 표준으로 제공되어 전도성이 낮거나 비전도성인 시편을 관찰하는 데 도움이 됩니다.
저진공 모드에서는 압력 제한 구멍 없이 10-180 Pa의 범위에 도달할 수 있습니다. 특별히 설계된 대물렌즈 진공 챔버는 저진공 조건에서 전자 평균 자유 경로를 최소화하고 저진공 모드에서 30kV에서 1.5nm의 분해능을 달성합니다.
시편 표면에서 2차 전자 방출은 공기 분자를 이온화하는 동시에 전자, 이온 및 광자를 생성합니다. 생성된 전자는 다른 공기 분자를 더욱 이온화하며, 저진공 2차 전자 검출기(LVD)는 이러한 과정에서 생성된 대량의 광자 신호를 포착합니다.
입사된 전자빔은 시료 표면의 공기 분자를 이온화하여 전자와 이온을 생성합니다. 이러한 이온은 표면의 대전을 중화시켜 대전 효과를 감소시킵니다.
CIQTEK SEM 현미경 소프트웨어는 다양한 유형의 입자 및 기공 샘플에 적합한 다양한 표적 감지 및 분할 알고리즘을 사용합니다. 입자 및 기공 통계의 정량적 분석이 가능하며 재료과학, 지질학, 환경과학 등의 분야에 응용이 가능합니다.
전자현미경으로 촬영한 이미지에 대해 온라인 또는 오프라인 이미지 후처리를 수행하고 일반적으로 사용되는 EM 이미지 처리 기능, 편리한 측정 및 주석 도구를 통합합니다.
선폭 가장자리를 자동으로 인식하여 더 정확한 측정과 더 높은 일관성을 제공합니다. Line, Space, Pitch 등 다양한 에지 감지 모드를 지원합니다. 다양한 이미지 형식과 호환되며 일반적으로 사용되는 다양한 이미지 후처리 기능을 갖추고 있습니다. 이 소프트웨어는 사용하기 쉽고 효율적이며 정확합니다.
이미지 획득, 작동 조건 설정, 전원 켜기/끄기, 스테이지 제어 등을 포함하여 SEM 현미경을 제어하기 위한 일련의 인터페이스를 제공합니다. 간결한 인터페이스 정의를 통해 특정 전자 현미경 작동 스크립트 및 소프트웨어의 신속한 개발이 가능합니다. 관심 영역 자동 추적, 산업 자동화 데이터 수집, 이미지 드리프트 보정 및 기타 기능을 제공합니다. 규조류 분석, 철강 불순물 검사, 청정도 분석, 원료 관리 등 전문 분야의 소프트웨어 개발에 활용 가능합니다.
CIQTEK SEM4000Pro FESEM 현미경 사양 | |||
전자광학 | 해상도 | 고진공 |
0.9nm @ 30kV, SE |
저진공 |
2.5nm @ 30kV, BSE, 30Pa 1.5nm @ 30kV, SE, 30Pa |
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가속전압 | 0.2kV ~ 30kV | ||
배율(폴라로이드) | 1 ~ 1,000,000 x | ||
전자총형 | 쇼트키 전계 방출 전자총 | ||
시료실 | 저진공 | 최대 180Pa | |
카메라 | 듀얼 카메라(광학 네비게이션 + 챔버 모니터링) | ||
XY 범위 | 110mm | ||
Z 범위 | 65mm | ||
T 범위 | -10° ~ +70° | ||
R 범위 | 360° | ||
SEM 감지기 및 확장 | 표준 |
Everhart-Thornley 검출기(ETD) 저진공 검출기(LVD) 후방산란전자검출기(BSED) |
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선택 |
접이식 주사투과전자현미경 검출기(STEM) 에너지분산분광기(EDS/EDX) 전자 후방산란 회절 패턴(EBSD) 시편 교환 로드록(4인치/8인치~ 트랙볼 및 노브 제어판 |
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사용자 인터페이스 | 언어 | 영어 | |
OS | 윈도우 | ||
내비게이션 | 광학 네비게이션, 제스처 퀵 네비게이션, 트랙볼(옵션) | ||
자동기능 | 자동 밝기 및 대비, 자동 초점, 자동 스티그마터 |