페셈 | SEM4000Pro

고진공 모드와 저진공 모드

FIB(집속 이온빔) 컬럼을 갖춘 전계 방출 주사 전자 현미경(FE-SEM) CIQTEK DB500 집속 이온빔 주사 전자 현미경(FIB-SEM)은 "SuperTunnel" 전자 광학 기술, 낮은 수차 및 비자성 대물렌즈 설계를 채택하여 저전압 및 고해상도 기능을 보장합니다. 나노 규모 분석. 이온 컬럼은 나노제조를 위한 매우 안정적인 고품질 이온빔을 통해 Ga+ 액체 금속 이온 소스를 촉진합니다. FIB-SEM DB500은 나노 조작기, 가스 주입 시스템, 대물렌즈용 전기 오염 방지 메커니즘, 24개의 확장 포트가 통합되어 있어 포괄적인 구성과 확장성을 갖춘 만능 나노 분석 및 제작 플랫폼입니다. .

초고해상도 전계 방출 주사 전자 현미경(FESEM): 0.6 nm@15 kV 및 1.0 nm@1 kV CIQTEK SEM5000X 초고해상도 FESEM은 업그레이드된 컬럼 엔지니어링 프로세스, "SuperTunnel" 기술 및 고해상도 대물렌즈 설계를 활용하여 저전압 이미징 해상도를 향상시킵니다. FESEM SEM5000X 시편 챔버 포트는 16개로 확장되었으며 시편 교환 로드록은 최대 8인치 웨이퍼 크기(최대 직경 208mm)를 지원하여 응용 분야를 크게 확장합니다. 고급 스캐닝 모드와 향상된 자동화 기능은 더욱 강력한 성능과 더욱 최적화된 경험을 제공합니다.

CIQTEK SEM5000Pro는 고해상도 이미징 및 분석 능력을 갖춘 전계방출형 주사전자현미경(FESEM) 으로, 풍부한 기능과 첨단 전자광학 컬럼 설계, 고압 전자빔 터널 기술(SuperTunnel), 저수차, MFL 대물렌즈는 저전압 고해상도 이미징을 구현하며 자기 표본도 분석할 수 있습니다. 광학 탐색, 자동화된 기능, 신중하게 설계된 인간-컴퓨터 상호 작용 사용자 인터페이스, 최적화된 작동 및 사용 프로세스를 통해 전문가 여부에 관계없이 고해상도 이미징 및 분석 작업을 빠르게 시작하고 완료할 수 있습니다.

대용량 시료의 크로스스케일 이미징을 위한 고속 주사전자현미경 CIQTEK HEM6000은 고휘도 대빔 전류 전자총, 고속 전자빔 편향 시스템, 고전압 샘플 스테이지 감속, 동적 광축, 침지 전자기 및 정전 복합 대물렌즈 등의 설비 기술로 높은 효율을 달성합니다. -나노 규모의 해상도를 보장하면서 이미지 획득 속도를 높입니다. 자동화된 작업 프로세스는 보다 효율적이고 스마트한 대면적 고해상도 이미징 워크플로우와 같은 애플리케이션을 위해 설계되었습니다. 이미징 속도는 기존 전계방출형 주사전자현미경(fesem)보다 5배 이상 빠릅니다.