SEM EDS EDX란 무엇입니까?

주사전자현미경(SEM)은 집중된 전자빔을 사용하여 샘플 표면의 상세한 이미지를 생성하는 현미경 기술입니다. 전자빔은 래스터 패턴으로 샘플을 스캔하고 전자빔과 샘플 표면 사이의 상호 작용에 의해 생성된 결과 신호를 감지하여 이미지를 형성하는 데 사용합니다. SEM은 고해상도의 3차원 표면 이미지를 제공하며 물질 특성화, 나노기술, 생물학 연구 등 다양한 분야에서 널리 사용됩니다.

에너지 분산형 X선 분광법(EDS): EDS는 SEM과 함께 자주 사용되는 분석 기술입니다. 이는 전자빔이 시료에 조사될 때 시료에서 방출되는 특성 X선을 감지합니다. 이러한 X선의 에너지와 강도는 샘플의 원소 구성에 대한 정보를 제공합니다. SEM EDS를 사용하면 샘플에 존재하는 원소를 식별하고 정량화하여 원소 구성 및 화학적 특성에 대한 귀중한 통찰력을 얻을 수 있습니다.

에너지 분산 X선 분석(EDX): EDX는 EDS의 또 다른 용어 이며 에너지 분산 X선 분광법을 사용하여 시료를 분석하고 조사하는 것을 의미합니다. 여기에는 존재하는 원소와 그 농도에 대한 정보를 전달하는 샘플에서 방출되는 X선의 감지 및 분석이 포함됩니다. SEM EDX는 정성적 및 정량적 원소 분석, 미량 원소 식별, 샘플 전체의 원소 분포 매핑을 위한 강력한 도구입니다.

SEM과 EDS/EDX의 조합은 다음과 같은 몇 가지 장점과 응용 분야를 제공합니다.

1. 원소분석

SEM EDS/EDX를 사용하면 샘플의 정성적 및 정량적 원소 분석이 가능합니다. 미량원소를 포함하여 물질 내의 화학적 조성과 원소 분포를 식별할 수 있습니다.

2. 재료 특성화

이 기술은 금속, 광물, 고분자, 세라믹 및 생물학적 시료와 같은 다양한 재료의 특성을 분석하는 데 널리 사용됩니다. 이는 원소 조성, 불순물의 존재, 시료 내 상 또는 화합물의 식별을 결정하는 데 도움이 됩니다.

3. 고장 분석

SEM EDS/EDX는 재료 관련 고장 및 결함을 조사하는 데 유용합니다. 원소 조성을 분석하고 이물질이나 오염 물질을 식별하여 고장 원인을 파악할 수 있습니다.

4. 지질분석

SEM EDS/EDX는 암석, 광물 및 토양의 구성과 구조를 연구하기 위해 지질학에서 광범위하게 활용됩니다. 이는 광물 식별, 암석 질감 연구, 지질 과정 분석에 도움이 됩니다.

5. 법의학

SEM EDS/EDX는 법의학 조사에서 중요한 역할을 하며 섬유, 총상 잔유물, 페인트 조각, 유리 조각과 같은 추적 증거 분석을 지원합니다. 범죄 현장에서 발견된 자료를 식별하고 비교하는 데 도움이 될 수 있습니다.

전반적으로 SEM의 EDS/EDX는 이미징과 원소 분석을 결합한 강력한 분석 도구입니다. 재료 과학, 지질학, 법의학, 환경 분석, 생물학, 고고학 등 다양한 분야에서 응용 분야를 찾습니다.

CIQTEK이 자체 개발한 SEM 현미경은  BSED, STEM, EDS, EDX, EBSD, In-lens, ETD등과 같은 광범위한 전자 검출기를 제공합니다.