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CIQTEK is the manufacturer and global supplier of high-value scientific instruments, such as Scanning Electron Microscopes (SEM and FIB-SEM), Electron Paramagnetic Resonance (Electron Spin Resonance) Spectroscopy, Scanning NV Probe Microscope, Gas Adsorption Analyzer, etc.
fib sem microscopy

FIB-SEM | DB500

FIB(집속 이온빔) 컬럼을 갖춘 전계 방출 주사 전자 현미경(FE-SEM)

CIQTEK DB500 집속 이온빔 주사 전자 현미경(FIB-SEM)은 "SuperTunnel" 전자 광학 기술, 낮은 수차 및 비자성 대물렌즈 설계를 채택하여 저전압 및 고해상도 기능을 보장합니다. 나노 규모 분석. 이온 컬럼은 나노제조를 위한 매우 안정적인 고품질 이온빔을 통해 Ga+ 액체 금속 이온 소스를 촉진합니다.

FIB-SEM DB500은 나노 조작기, 가스 주입 시스템, 대물렌즈용 전기 오염 방지 메커니즘, 24개의 확장 포트가 통합되어 있어 포괄적인 구성과 확장성을 갖춘 만능 나노 분석 및 제작 플랫폼입니다. .

CIQTEK DB500 FIB-SEM 특징 <

• 자기가 없는 대물렌즈를 갖춘 'SuperTunnel' 전자 광학 기술로 고해상도 이미징에 적합하고 자기 표본 이미징과 호환됩니다.

· 집속이온빔(FIB) 컬럼은 매우 안정적인 고품질 이온빔을 출력하며, 고품질 나노 가공 및 TEM 시료 준비에 적합합니다.

정밀한 핸들링을 위한 통합 제어 시스템을 갖춘 검체 챔버의 압전 구동 조작기.

강력한 확장성을 갖춘 자체 개발 시스템입니다. 신속한 이온 소스 교환을 위한 통합 이온 소스 어셈블리 설계. FIB-SEM DB500에 대한 전세계 서비스, 3년 보증.

CIQTEK DB500 FIB-SEM 기술 하이라이트

FIBSEM DB500 - Focused Ion Beam Column

집속 이온빔(FIB) 컬럼

해상도: 3nm@30kV

프로브 전류(이온빔 전류 범위): 1 pA~50 nA

가속전압 범위: 0.5~30 kV

이온 소스 교환 간격: ≥1000시간

안정성: 72시간 연속 작동


FIBSEM DB500 - Nano-manipulator

나노매니퓰레이터

챔버 내부 장착

3축 전압전 구동

스테퍼 모터 정확도 ≤10nm

최대 이동 속도 2mm/s

통합제어


FIBSEM DB500 - Ion Beam-Electron Beam Collaboration

이온빔-전자빔 협력


FIBSEM DB500 - Gas Injection System

가스분사시스템

단일 GIS 설계

다양한 가스 전구체 소스 사용 가능

바늘 삽입 거리 ≥35mm

모션 반복성 ≤10 μm

가열 온도 제어 반복성 ≤0.1°C

가열 범위: 실온 ~ 90°C(194°F)

통합제어

CIQTEK FIB-SEM DB500 사양
전자빔 시스템 전자총형 고휘도 쇼트키 전계 방출 전자총
해상도 1.2nm@15kV
가속전압 0.02~30kV
이온빔 시스템 이온 소스 유형 액체갈륨이온원
해상도 3nm@30kV
가속전압 0.5~30kV
시료실 진공시스템 전자동 제어, 오일프리 진공 시스템
카메라

카메라 3대

(광학 네비게이션 + 챔버 모니터 x2)

무대형 5축 기계식 유센트럴 시편 스테이지
스테이지 범위

X=110mm, Y=110mm, Z=65mm

T: -10°~+70°, R:360°

SEM 감지기 및 확장 표준

렌즈내검출기

Everhart-Thornley 검출기(ETD)

선택

접이식 후방산란전자검출기(BSED)

접이식 주사투과전자현미경 검출기(STEM)

에너지분산분광계(EDS/EDX)

전자 후방산란 회절 패턴(EBSD)

나노조작기

가스분사시스템

플라즈마 세척제

시편 교환 로드락

트랙볼 및 노브 제어판

소프트웨어 언어 영어
운영체제 윈도우
내비게이션 Nav-Cam, 제스처 퀵 네비게이션
자동기능 자동 밝기 및 대비, 자동 초점, 자동 스티그마터
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