CIQTEK SEM5000X는 0.6 nm@15 kV 및 1.0 nm@1 kV의 획기적인 분해능을 갖춘 초고해상도 전계 방출 주사 전자 현미경(FE-SEM)입니다.
업그레이드된 컬럼 엔지니어링 프로세스, "SuperTunnel" 기술, 고해상도 대물렌즈 설계를 통해 SEM5000X는 저전압 이미징 해상도를 더욱 향상시킬 수 있습니다. 시편 챔버 포트는 16개로 확장되며 시편 교환 로드록은 최대 8인치 웨이퍼 크기(최대 직경 208mm)를 지원하여 응용 분야를 크게 확장합니다. 적용 범위. 고급 스캐닝 모드와 향상된 자동화 기능은 더욱 강력한 성능과 더욱 최적화된 경험을 제공합니다.
주요 매개변수 | 해결 | 0.6nm @ 15kV, SE 1.0nm @ 1kV, SE |
가속 전압 | 20V ~ 30kV | |
확대 | 1 ~ 2,500,000x | |
전자총 유형 | 쇼트키 전계 방출 전자총 | |
표본실 |
진공 시스템
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완전 자동화된 제어 |
카메라 | 듀얼 카메라(광학 네비게이션 + 챔버 모니터) | |
무대 유형 | 5축 기계식 Eucentric 시편 스테이지 | |
무대 범위 | X=110mm, Y=110mm, Z=65mm T: -10*~+70°, R: 360° |
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감지기 및 확장 | 기준 | 렌즈 내 감지기 Everhart-Thornley 검출기(ETD) |
선택 과목 | 접이식 후방산란전자검출기(BSED) 개폐식 주사 투과 전자 현미경 검출기(STEM) 에너지 분산 분광계(EDS) 전자 후방 산란 회절 패턴(EBSD) 표본 교환 로드록(4인치 및 8인치 옵션) 트랙볼 & 손잡이 제어판 시편 스테이지 탠덤 감속 자기장 & 음향 소음 차단 시스템(SEMI 인증) |
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소프트웨어 | 언어 | 영어 |
운영 체제 | 윈도우 |
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항해 | Nav-Cam, 제스처 빠른 탐색 |
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자동 기능 | 자동 밝기 & 대비, 자동 초점, 자동 낙인 |