초고해상도 전계 방출 주사 전자 현미경(FESEM): 0.6 nm@15 kV 및 1.0 nm@1 kV
CIQTEK SEM5000X 초고해상도 FESEM은 업그레이드된 컬럼 엔지니어링 프로세스, "SuperTunnel" 기술 및 고해상도 대물렌즈 설계를 활용하여 저전압 이미징 해상도를 향상시킵니다.
FESEM SEM5000X 시편 챔버 포트는 16개로 확장되었으며 시편 교환 로드록은 최대 8인치 웨이퍼 크기(최대 직경 208mm)를 지원하여 응용 분야를 크게 확장합니다. 고급 스캐닝 모드와 향상된 자동화 기능은 더욱 강력한 성능과 더욱 최적화된 경험을 제공합니다.
(*FESEM SEM5000X용 옵션 액세서리)
CIQTEK FESEM SEM5000X 사양 |
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주요 매개변수 | 해상도 |
0.6nm @ 15kV, SE 1.0nm @ 1kV, SE |
가속전압 | 0.02~30kV | |
배율 | 1~2,500,000x | |
전자총형 | 쇼트키 전계 방출 전자총 | |
시료실 |
진공시스템
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완전자동제어 |
카메라 | 듀얼 카메라(광학 네비게이션 + 챔버 모니터) | |
무대형 | 5축 기계식 Eucentric 시편 스테이지 | |
스테이지 범위 |
X=110mm, Y=110mm, Z=65mm T: -10*~+70°, R: 360° |
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SEM 감지기 및 확장 | 표준 |
렌즈내검출기 Everhart-Thornley 검출기(ETD) |
선택 |
접이식 후방산란전자검출기(BSED) 접이식 주사투과전자현미경 검출기(STEM) 에너지 분산형 분광계(EDS/EDX) 전자 후방산란 회절 패턴(EBSD) 시편 교환 로드록(4" 및 8" 옵션) 트랙볼 및 노브 제어판 시료단계 탠덤 감속 자기장 및 음향소음차폐시스템(SEMI 인증) |
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소프트웨어 | 언어 |
영어 |
운영체제 |
윈도우 |
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내비게이션 |
Nav-Cam, 제스처 퀵 네비게이션 |
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자동 기능 |
자동 밝기 및 대비, 자동 초점, 자동 스티그마메이터 |